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單晶硅對石英坩堝的要求
日期:[2021-09-11 16:50:56] 共閱[203]次
對于石英坩堝來說,單晶硅很重要,對于它的質(zhì)量,能夠起到?jīng)Q定性作用。下面介紹的是單晶硅對坩堝的要求。希望在使用坩堝之前,大家一定要記住相關(guān)的要點。
1、幾何尺寸和外觀取決于生產(chǎn)工藝,而純度由原料確定。石英坩堝原料要求純度高、一致性好,粒度分布均勻。只有原料優(yōu)質(zhì),生產(chǎn)的石英坩堝質(zhì)量才有保障。
2、有害成分高時,會影響石英坩堝的熔制,影響其耐溫性,還會出現(xiàn)氣泡、色斑、脫皮等現(xiàn)象,嚴重影響質(zhì)量。有害元素總含量高,還會產(chǎn)生氣泡、白斑等缺陷,造成透明度下降。
3、石英坩堝是拉制單晶硅的消耗性器皿,每生產(chǎn)一爐單晶硅,就用掉一只。因為單晶硅是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路的原材料,所以要求十分苛刻。
由此看出,在石英坩堝中單晶硅相對而言它是很重要的一部分,必須要達到一定的要求進行,以上幾點要求,希望大家一定要知道,這樣利于使用。
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