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石英坩堝的制造方式有哪些
日期:[2017-10-27 15:45:40] 共閱[1454]次
石英坩堝一般分為方形、圓形兩大類:圓形的石英坩堝是用在單晶爐里拉制單晶硅的;方形的石英坩堝是用在多晶硅鑄錠中的。下面的內容我們來介紹一些石英坩堝的制造方式:
通常,圓形的石英坩堝分透明,不透明。透明石英坩堝,用石英玻璃管在氫氧火焰中,擴徑、封端后,再吹制而成的。透明的石英坩堝具有石英玻璃的所有特性,它是高純的二氧化硅體,對高純硅的純度影響極低;它具有極低的膨脹系數、非常低的熱導率、相當良好的電絕緣性,特別是耐溫性能極好,可在1450°C以下使用,所以可用在單晶爐里盛裝熔化的多晶硅液體。但透明石英坩堝的制作工藝復雜,成本太高,而且容易導致不均勻的熱傳輸,不利于電子工業(yè)的發(fā)展。
另外,現在的制造方法還不能制造出大口徑的透明石英坩堝。不透明的石英坩堝是用電弧法制成的,工藝簡單,成本低。
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